高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業(yè)，高純氮、氫、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。色譜分析檢測過程中，氣相色譜儀對所用的氣體純度有較高的要求，為既達到工作要求，又能延長儀器壽命，所用氣體的純度要達到或略高于儀器自身對氣體純度的要求;否則，若使用不符合要求的低純度氣體，會造成一系列不良影響。
:1、主體成分含量必須大于某一定值。
2、各雜質組分含量必須小于某一定值。 電子工業(yè)用氣、儀器儀表校準用的零點氣、標準氣配制用氣、色譜載氣等均需滿足以上要求, 可列為高純氣體。理論上, 高純氣體的純度= 主體成分含量= 1-∑ 雜質含量。事實上, 用實驗方法直接準確測定高純氣體中主體成分含量是非常困難的。既使象二氧化碳這類產(chǎn)品, 可以通過規(guī)定的方法, 直接測定得到“純度值”, 但該值也包含有水分、酸性氣體及其它與強堿作用的成分。所以說, 該“純度”也并非理論意義上的氣體純度。而另外一種通過測定氣體中所含有的所有雜質成分, 計算求得氣體純度(理論純度) 的方法, 同樣難以實現(xiàn)。
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